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單晶硅制造生產(chǎn)線的諧波問(wèn)題如何解決?

來(lái)源:希拓電氣(常州)有限公司    日期:2020-07-23    瀏覽量:載入中...

單晶硅作為一種極具潛能,亟待開(kāi)發(fā)利用的高科技資源,正越來(lái)越多的被關(guān)注和重視。其生產(chǎn)工藝分熔融加熱和直流加熱,熔融加熱多采用中頻加熱爐,直拉式單晶多采用直流加熱爐。但不論是中頻爐還是直流爐加熱,均采用半導(dǎo)體可控整流方式,它們本身工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生非常大量電流諧波,對(duì)電網(wǎng)造成諧波污染,這些諧波使得精密儀器精度失準(zhǔn)甚至誤動(dòng)作,破壞了系統(tǒng)的無(wú)功補(bǔ)償,造成系統(tǒng)供電損耗的增加及損壞補(bǔ)償電容器等,對(duì)于單晶硅復(fù)雜的生長(zhǎng)過(guò)程以及后期的精密加工流程都造成非常大的影響,因此電網(wǎng)的品質(zhì)間接決定著單晶硅成品材料的品質(zhì),幾乎所有的單晶硅制造生產(chǎn)線都面臨諧波問(wèn)題。


根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)配電室工況和測(cè)試結(jié)果,主要是大量的中頻爐以及部分大功率開(kāi)關(guān)電源在工作過(guò)程中產(chǎn)生了大量的諧波電流,進(jìn)而帶來(lái)電壓的畸變,而大量的諧波電流經(jīng)過(guò)無(wú)功補(bǔ)償設(shè)備的放大使得電流諧波更加嚴(yán)重,電壓畸變率高達(dá)11.6%。諧波經(jīng)常造成無(wú)功補(bǔ)償設(shè)備得電容損壞,以及生產(chǎn)車間個(gè)別設(shè)備誤動(dòng)作甚至器件損壞。


通過(guò)投入有源電力濾波器治理諧波,電網(wǎng)質(zhì)量得到明顯的改善,諧波電壓、諧波電流大幅度降低,有效地保護(hù)了無(wú)功補(bǔ)償裝置的電容以及生產(chǎn)線上的精密設(shè)備的正常運(yùn)行。

有源電力濾波器

STF有源電力濾波器


希拓電氣STF有源電力濾波器基于高速的濾波補(bǔ)償技術(shù),消除各種形式的諧波,可應(yīng)用于各種在諧波污染的工況,尤其適用于快速變化的負(fù)載。具有響應(yīng)速度快、濾波范圍廣、濾波效果高、不受系統(tǒng)參數(shù)影響等特點(diǎn),達(dá)到改善電能質(zhì)量,降低電網(wǎng)損耗、提高供電利用效率和帶載能力的目的,是理想的濾波產(chǎn)品。

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